據(jù)臺灣媒體7月30日報道稱，臺積電的南科18a廠，29日夜間傳出生產(chǎn)工序出現(xiàn)問題，一部分生產(chǎn)線已經(jīng)停止運行，30日早上，供貨商被擋于園區(qū)外，無法進(jìn)入園區(qū)。

而有供應(yīng)商透露，此次問題的原因是氧氣供應(yīng)受到污染，有有關(guān)人員認(rèn)為，半導(dǎo)體材料生產(chǎn)工序大約有270道工序需用到氧氣，基本上全是關(guān)鍵工序；更何況18a廠解決的全是現(xiàn)階段臺積電最先進(jìn)的5納米核心工序，此時產(chǎn)生氧氣環(huán)境污染，也許是直中臺積電重要，但預(yù)估臺積電會全力以赴清除有關(guān)難題，盡早讓生產(chǎn)線修復(fù)。

但接著臺積電就這事做出回復(fù)，表明絕無此事，僅僅有一部分來自生產(chǎn)商供應(yīng)的汽體疑是受到了污染，已及時調(diào)用別的汽體進(jìn)行供應(yīng)，對生產(chǎn)線未導(dǎo)致顯著危害，產(chǎn)線仍處于正常生產(chǎn)。